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真空吸盤已經(jīng)被很多場合使用
在大功率集成領(lǐng)域,以真空吸盤為代表的混合集成技術(shù)已經(jīng)得到迅速發(fā)展,真空吸盤已經(jīng)被大量運用于變頻調(diào)速、電動機驅(qū)動等多種場合。由于真空吸盤外部接線和焊點減少,故其可靠性明顯增加。但由于在真空吸盤內(nèi)的各功率元件與控制等電路中,是靠焊絲連接不同芯片的,則焊絲引入的電感與焊絲、焊點的可靠性限制了真空吸盤的進(jìn)·步發(fā)展。為此,美國電力電子系統(tǒng)中心(CPES)提出了IPEM這一系統(tǒng)集成概念。真空吸盤將信息傳輸、控制與功率半導(dǎo)體器件通過共燒瓷片的多芯片模塊MCM—C技術(shù)進(jìn)行了連接,將所有的無源元件以埋層的方式掩埋在襯底中,完全取消了傳統(tǒng)模塊封裝中的焊絲鍵合工藝,并用三維立體組裝取代,以及采用三維熱處理方式來增加散熱。因為IPEM的元件問不用焊絲連接,從而提高了系統(tǒng)的可靠性,大大降低了電路的接線電感,提高了真空吸盤系統(tǒng)效率。真空吸盤吊具
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